AgilEnt 5517C 模块
Agilent 5517C 是一种激光头,可用于各种应用,例如半导体光刻和平板应用。它在真空波长中具有高度的稳定性,使其成为精.确测量的理想选择。激光头通常与 VME 和基于 PC 的系统以及运动速度更快的 Keysight 5501A 和 5527A 系统一起使用。
根据是德科技提供的产品说明书,5517C 激光头具有以下主要特性:
- 2 ppb 真空波长稳定性(1 小时)
- 20 ppb(寿命)± 0.1 ppm 波长精度标准
- ± 0.02 ppm,可选校准
- MTBF > 50,000 小时(典型值)

AgilEnt 5517C 模块
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