AgilEnt 5517CL 模块
AgilEnt 5517CL 是 Keysight Technologies 生产的激光头。它设计用于运动速度更快的 VME 和基于 PC 的激光干涉仪系统，例如半导体光刻和平板应用
5517CL 是 5517 系列 II 类氦氖激光源的一部分，可为精密双频干涉测量提供高度稳定和精.确的 633 nm 波长光。激光束的zui小输出功率为 180 µW，可选择更高的功率级别。
选件 009 可用于 5517CL，它通过提供与三轴干涉仪一起使用的 9 毫米光束直径来提供更大的角度测量范围 但是，建议联系是德科技了解定制要求。
5517 系列中的替代激光头包括用于传感器系统的 5517A、5517B、5517C、5517D、5517DL、5517EL、5517FL 和 5517GL 激光头 [keysight.com.cn, 4]。这些激光头具有不同的塞曼分裂频率、光束大小和功率水平，以满足不同的系统要求。
AgilEnt 5517CL 模块
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