AgilEnt 5517D 模块
AgilEnt 5517D 是一种激光头,用于基于 VME 和 PC 的系统以及运动速度更快的 Keysight 5501A 和 5527A 系统中的高速应用,例如半导体光刻和平板应用程序。它是 5517 系列 II 类氦氖激光源的一部分,可为精密双频干涉测量提供高度稳定和精.确的 633 nm 波长光。激光束直径为 6 毫米,还提供 3 毫米或 9 毫米的选项。要运行 5517D,需要 +15 V ± 0.3 V(zui大 3.0 A)和 -15 V ± 0.3 V(zui大 0.3 A)输入电源。5517D 可与三轴干涉仪配合使用,以测量更大的角度范围。
AgilEnt 5517D 模块
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