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AgilEnt 5517DL 模块
Agilent 5517DL激光头用于运动速度较快的激光干涉仪系统，如半导体光刻和平板应用。它的光束高度为 80.8 毫米，使用 E1709A 电子设备/接收器时的zui大线速度为 1329 毫米/秒，参考频率至少为 4.4 MHz。输入电源要求为 +15 V ± 0.3 V（zui大 3.0 A）和 -15 V ± 0.3 V（zui大 0.3 A）。5517系列中的其他激光头，如5517C和5517D，主要用途和zui小输出功率相似，但在特色资源方面存在一些差异
AgilEnt 5517DL 模块
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