AgilEnt 5517EL 模块
AgilEnt 5517EL 是用于需要高精度位置测量的激光干涉仪系统的激光头。激光头发出高度稳定和精.确的 633 nm 波长光，用于精密双频干涉测量。5517EL 专为运动速度更快的 VME 和基于 PC 的激光干涉仪系统而设计，例如半导体光刻和平板应用
5517C 激光头的zui大线光速为 711 mm/s，参考频率为 2.4 至 3.0 MHz。它重 3.4 千克（7.5 磅），预热时间为 90 分钟。激光束直径为 6 毫米，可选配件可将直径调整为 3 毫米或 9 毫米。zui小输出功率为 180 µW，zui大输出功率为 1 mW。光束高度为 79.5 ± 1.0 mm。
要操作 5517C 激光头，输入功率要求为 +15 V ± 0.3 V（zui大 3.0 A）和 -15 V ± 0.3 V（zui大 0.3 A）。激光头可以与三轴干涉仪一起使用，以测量更大的角度
AgilEnt 5517EL 模块
AgilEnt 5517EL 模块
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