AgilEnt 5517GL 模块
Agilent 5517GL 是一种由 Keysight Technologies 制造的激光头。它是II类氦氖激光源，发射高度稳定和精.确的633 nm波长光，用于精密双频干涉测量。激光头属于 5517 系列，包括型号 5517A、5517B、5517C、5517CL、5517D、5517DL、5517EL、5517FL 和 5517GL 。
5517GL 主要用于运动速度更快的 VME 和基于 PC 的激光干涉仪系统，例如半导体光刻和平板应用[0]。激光束的zui小输出功率为 180 µW，选项 H03、H05 和 H07 可提供更高的输出功率，分别为 300 µW、240 µW 和 400 µW [3 ]。
选件 009 可用于 5517C 型号，通过提供与三轴干涉仪 [3] 一起使用的 9 毫米光束直径，可实现更大的角度测量范围。
AgilEnt 5517GL 模块
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