联系人：张经理
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Brooks Loadport 148299 是一种加载端口模块 (LPM)，可提供超洁净性能和卓越的加载端口与前开式统一盒 (FOUP) 的互操作性，可满足当今半导体制造商的严格要求。Brooks Loadport 148299 旨在通过利用工艺工具其他部分中现成的功能来zui大限度地降低成本和复杂性。它提供了所有必要的状态和控制接口以及硬件安全联锁装置，以帮助确保安全、高效和超洁净地将晶圆装载到工艺工具和从工艺工具中卸载。[2]
加载端口模块 (LPM) 是半导体制造过程的重要组成部分。它们用于在工艺工具和 FOUP 之间转移半导体晶圆。LPM 通常安装在将 LPM 移动到位的机械臂上，从而允许装载或卸载晶圆。
BBC BROOKS/LOADPORT BROOKS/148299 模块
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