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ENI GHW-12Z 是一种射频等离子体发生器，用于等离子体增强化学气相沉积 (PECVD)、高密度等离子体 CVD (HDPCVD)、蚀刻和其他薄膜应用。
GHW12 13.56 MHz、1.25 kW 射频等离子发生器对于运行限制内的任何负载都是无条件稳定的，并且具有负载不匹配保护。GHW12 的输入交流电源为 200/208 VAC、3/PE~ (3W+G) 30 A/PHASE 和 380/400 VAC、3/PE~ (3W+G) 15 A/PHASE。GHW12 具有标准的 RS-232 超小型 D 型 9 针数字接口，并提供可选的定制接口卡。数字读数显示频率和正向、反射和负载功率。冷却系统需要 2.0 加仑/分钟的水流。(7.6 LPM) 在 5 - 35°C 时zui低，并且提供连接以接受 3/8 英寸外螺纹 (NPT) 管螺纹。机架安装尺寸为 8.72 x 19 x 22.1 英寸（221 x 483 x 560 毫米）（高 x 宽 x 深）
- ENI GHW-12Z 模块
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