ZYGO ZMI-4104/4S025-754 模块
ZYGO ZMI-4104/4S025-754 是一款用于位置计量应用的测量板。以下是一些可能有帮助的信息：
- ZMI-4104 是一款提供亚纳米分辨率的 4 轴测量板。它是 ZYGO 的 ZMI 系列测量电子设备的一部分。
- ZMI-4104 板可以模块化地添加到 VME 机箱中，以提供多达 64 个测量轴的可扩展性。
- ZMI-501A 是 ZYGO 的另一种测量电子设备，可在方便的独立外壳中提供两个测量轴。
- ZMI 系列测量电子设备使用来自由 ZMI 激光源驱动的干涉仪的光信号来计算位移。获得专.利的循环误差校正选项可自动无缝地消除 DMI（数字测量干涉测量）系统[2]中固有的常见非线性误差。
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